| 一种易于调节的光发射光谱仪 |
| EP19207192 2019-11-5 发明申请 |
| 2021-5-12 |
| 本发明涉及一种易于调节的光学发射光谱仪(1)， 以及一种用于设置和操作这种光谱仪(1)的方法(100)，该光谱仪(1)包括用于从样品材料建立发光等离子体的等离子体台， 以及光学系统(3)，用于测量由等离子体发射的光(L)的光谱，该光谱是样品材料的特征， 其中光学系统(3)包括至少一个光入射孔(31)， 至少一个衍射光栅(32)，用于分离来自等离子体(A)的光(L)；以及一个或多个检测器(33)，用于测量光(L)的光谱， 其中等离子体支架(2)和光学系统(3)分别直接固定地安装在彼此直接固定连接的等离子体支架法兰(2b)和光学系统法兰(3b)上，并且其中光学发射光谱仪(1)还包括分析单元(34)， 适于分析所测量的光谱并考虑光学系统(3)的热膨胀来补偿光谱相对于检测器(33)的漂移，所述漂移潜在地由从等离子体台(2)传递到光学系统(3)的热引起。 |
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