| 片上温度不敏感读出 |
| WOEP20082506 2020-11-18 发明申请 |
| 2021-5-27 |
| 公开了一种使用光子集成芯片(1)上的光谱仪(33)进行波长监测的温度补偿方法和相关的温度补偿波长监测装置(51)。 芯片(1)的滤光器(42a-b)对源(6)信号进行滤波，以向第一光谱仪(33)提供至少一条光谱基准线，从而检测其热波长漂移。 由芯片的同一或另一光谱仪(33)接收至少一条待监测的谱线，以检测其波长偏移。 以获得反映温度变化的补偿值， 将所检测的参考线的热漂移与参考线的校准热漂移进行比较，所述校准热漂移与接收待监测谱线的光谱仪的光谱响应曲线的校准热漂移相关联。 滤光器的响应曲线的热漂移率与第一光谱仪的响应曲线的热漂移率相差至少一个量， 在光子集成芯片(1)的整个工作温度范围内，与接收待监测谱线的光谱仪(33)相关联的有效分辨率是关于同一光谱仪(33)的标称分辨率的至少50%。 |
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