| 显微镜物镜 |
| US16378996 2019-4-9 发明申请 |
| 2019-10-24 |
| 一种包括具有正光焦度的第一透镜组和具有正光焦度的第二透镜组的、放大倍率为20倍或更低的干式显微物镜，其中，所述第一和第二透镜组具有彼此相邻且彼此面对的凹面，并且所述显微物镜满足以下条件式： [在线式]1.4≤(Wz(1)-Wz(0))/DOFd≤2.3(1)[/在线式] [在线式]0≤WCRMS(Fiy)≤0.1 λ D(0≤Fiy≤0.7)(2)[/in-line-formule]其中Wz表示d线优化位置的函数，该d线优化位置是在物体高度比处的d线中的RMS波前像差最小化的纵向位置； DOFd表示d线的焦深； WCRMS表示在d线优化位置处出现的C线中的RMS波前像差的函数； Fiy表示物体高度比； 以及λ d表示d线的波长。 |
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