| 电子劈裂器 |
| JP2021083908 2021-5-18 发明申请 |
| 2022-12-1 |
| “挑战”提供了一种电子光谱仪，其能够以高分辨率从低速电子中检测高速电子。本公开的电子光谱仪包括：激发单元100，其用能量射线照射样品； 围绕从照射有能量射线的样品发射的电子的圆周部分10， 以及检测单元120，用于检测从轨道部分10中取出的电子， 轨道部分10包括多个电极对， 多个电极对通过控制施加的电压来跟踪电子， 以及多个电极对中的一部分是引入电极对，其中通过控制施加的电压将电子引入轨道部分10， 并且多个电极对的一部分通过控制施加的电压从轨道部分10中取出电子。 |
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