| 用于椭偏量测系统的自动聚焦方法 |
| CN202210956119.0 2022-8-10 发明申请 |
| 2022-11-25 |
| 本公开涉及一种用于椭偏量测系统的自动聚焦方法。该自动聚焦方法包括：将具有反射表面和通光孔的反射型聚焦镜定位在所述椭偏量测系统的从样品反射的光束的光路上，以使得：所述反射表面反射所述光束的第一部分至所述椭偏量测系统中的光谱仪，以及所述通光孔透过所述光束的第二部分，其中所述第一部分所占光束的能量的比例大于所述第二部分所占光束的能量的比例；使用多象限探测器接收从所述通光孔所透过的所述光束的所述第二部分，以产生与所述样品偏离所述椭偏量测系统的入射光束的焦面的距离有关的探测信号；以及使用处理器，以基于所述探测信号产生用于使所述样品移动至所述焦面的控制信号。 |
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