| 成像光学系统和显微镜系统 |
| US16385680 2019-4-16 发明申请 |
| 2019-10-24 |
| 一种成像光学系统，包括物镜， 一种成像光学系统， 以及图像传感器， 其中一个物体， 物镜， 一种成像光学系统， 以及图像传感器，以这种顺序排列，物镜包括 : 第一透镜组，其包括在第一透镜组中最接近图像的弯月形透镜部件，弯月形透镜部件具有面向物体的凸面； 以及比第一透镜组更靠近图像的第二透镜组， 并且该成像光学系统满足以下条件表达式 : [in-line-formulae]4×106|pxn|1×1010(1)[/in-line-formulae]其中pxn表示在750×Nai[lp/mm]的空间频率下包含在图像传感器上的特定于e线的MTF为40%或更高的区域中的像素数， NAi表示成像光学系统的像侧的数值孔径。 |
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