| 用于液体样品的深能级瞬态光谱 |
| KR1020210063123 2021-5-17 发明申请 |
| 2022-11-24 |
| 根据本发明的一个实施例，一种用于液体样品测量的深能级瞬态光谱仪(DLTS)包括：脉冲发生器，其产生包括直流和交流电压的偏置，该偏置将被施加到液体样品以测量液体样品的电容; 样本容器，其容纳所述液体样本，具有正方形的内部截面，并且在彼此面对的两端上具有导电电极； 冷却部，其支撑所述试样容器并将所述液体试样冷却至低温； 升温部，使所述液体试样的温度上升； 真空室，包围所述样品容器、所述冷却部、所述升温部，稳定地保持所述液体样品的温度，通过真空泵维持低真空； 电容测量部分，将由所述脉冲发生器产生的所述偏压施加到所述电极上，并测量根据时间变化而变化的所述液体样本的电容； 以及控制部，控制所述脉冲发生器的偏压产生，并控制所述冷却部和所述升温部，以在测量所述液体试样的电容的同时均匀地保持所述液体试样的温度。 即使对于具有半导体性质的液体样品，也可以稳定和精确地获得关于缺陷水平的信息。版权KIPO 2023 |
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