| 用于激光诱导击穿光谱应用的电弧扫描方法 |
| GB2107038 2021-5-17 发明申请 |
| 2022-11-23 |
| 一种用于组成分析的方法，包括：提供具有包含待分析区域的表面的样品102； 沿着由多个圆弧限定的圆弧路径将烧蚀点112移动到表面上的多个位置， 其中所述多个圆弧从所述区域的一个边缘延伸到所述区域的另一个边缘，其中所述圆弧路径跟随所述多个圆弧中的相邻圆弧； 脉冲能量源106以提供电磁能量束108，从而在烧蚀点112烧蚀材料； 响应于脉冲能量源106收集发射光谱114； 以及分析发射光谱114以确定表面的组成。 另一方面是一种系统100，其包括定位机构(104；208，图2)，以相对地定位样品102和能量束108，从而在包含待分析区域的表面上的多个位置处提供烧蚀点112。 可以有一个收集透镜116，用于收集发射光谱114，并与光谱仪118进行光通信。 可以存在与定位机构通信的控制器120，以引导消融点112的移动。 |
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