| 用于光谱技术的带电粒子检测 |
| GB2210155 2019-11-7 发明申请 |
| 2022-11-23 |
| 一种X射线光电子能谱仪，包括： 光谱分析仪； 以及用于检测来自分析器的带电粒子(光电子)的设备，包括带电粒子光学器件18和包括像素阵列的检测器16，其中光学器件18被配置为加速来自分析器114的光电子朝向检测器16。 光学器件18可以是静电透镜。 光谱分析仪是静电半球形分析器，柱面镜分析器，飞行时间分析器，平行板分析器或延迟场分析器中的一种。 光谱仪包括X射线源50，单色器56，延迟透镜60和静电半球形分析器114。 到达检测器16的带电粒子(从样品58发射的光电子)在能量色散方向12上具有扩散。 |
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