基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置
 
WOCN19071252  2019-1-11  发明申请

2019-10-24
 
  一种基于环境可控型原子力显微镜的数控旋转式探针切换装置,包括腔体上盖(1)和探针切换结构;腔体上盖(1)设置有非规则类矩形凸台(1.1)、内凹槽(1.8)、矩形光窗结构以及密封法兰结构。具有如下优点:1)非规则类矩形凸台(1.1)、内凹槽(1.8)、矩形光窗结构以及密封法兰结构设计显著增加了腔体内部工作空间并且有效提高了空间利用率;2)内凹槽(1.8)、L型过渡板(10.1)连接结构以及探针托架(10)与探针载动块(9)非对称配合设计有效保证了激光垂直聚焦高度和聚焦位置;3)能够在真空、气氛、液体等不同工作环境中通过程序控制实现多达8根不同功能探针(12)的高效、精确切换,进而在同一工作环境中原位实现表面形貌扫描、拉曼光谱分析、微观摩擦磨损和摩擦系数测量等功能。
 
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