用于三维干涉显微镜的系统和方法
 
EP07866170  2007-12-21  发明授权

2019-10-23
 
  在一个实施例中,一种装置包括具有多个检测器的光学系统和处理器。 所述光学系统经配置以在给定时间在每个检测器处产生光源在第一维度和基本上正交于所述第一维度的第二维度上的图像。 来自图像的每个图像基于来自光源的在第一方向上的发射和来自光源的在不同于第一方向的第二方向上的发射的干涉。 所述处理器被配置为基于所述图像计算第三维中的位置。 第三维度基本上正交于第一维度和第二维度。
 
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