| 成像光谱偏振仪 |
| US16219618 2018-12-13 发明申请 |
| 2020-6-18 |
| 一种用于用偏振光检查目标的成像分光偏振仪，该分光偏振仪包括适于产生指向目标的偏振光的光源。 实施例还包括一种三相机相机系统，其定义了一个三相机相机轴，其中第一相机单元包括设置为0°的第一分析器， 透镜和第一多像素传感器；第二照相机单元，包括设置在45°处的第二分析器，透镜和第二多像素传感器；以及第三照相机单元，包括设置在90°处的第三分析器，透镜和第三多像素传感器。 至少两个分束器，适于将从目标反射的偏振光的一部分引导到第一，第二和第三相机单元中的每一个。 优选的系统包括处理器，该处理器适于利用由多像素传感器收集的强度信息来产生目标的偏振图像。 |
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