| 一种用于材料厚度测量的多径干涉仪系统 |
| CN202210890579.8 2022-7-27 发明申请 |
| 2022-11-11 |
| 本发明属于精密测量器件领域，公开了一种用于材料厚度测量的多径干涉仪系统，包括底板，底板上竖直设置有光路主板，光路主板的开口侧设置有用于固定激光器和光谱仪的仪器支撑台和用于设置二维电动位移台的位移支撑台，二维电动位移台中心设置有用于放置待测样品的通光孔；光路主板用于设置光学元件，光学元件用于将从输入耦合器输入的光分为两束，一束经测量路径后传输至输出耦合器，另一束经参考路径后传输至输出耦合器，输出耦合器将两束光的干涉信号经传输光纤发送光谱仪；待测样品设置在测量路径上；三维光学镜架的底部与光路主板固定连接，顶部设置有三维调节螺丝；本发明结构紧凑，便于集成整合，调节方便，可以广泛应用于精密测量领域。 |
微信公众号