| 一种基于平面光波导平台的微型光谱仪及其制作方法 |
| CN202211017283.1 2022-8-24 发明申请 |
| 2022-11-11 |
| 本发明是一种基于平面光波导平台的微型光谱仪及其制作方法。该光谱仪包括用于限制光传播的包覆层和芯层、用于连接光纤的光纤耦合接口、用于反射的凹面反射镜、用于分光且刻画在光波导平台上的反射光栅、CCD探测器。分析复色光通过光纤耦合接口，由反射镜反射进入光栅进行分光，直接由CCD探测器探测分析，形成光谱。该装置大大减小了光谱仪的尺寸，实现了高精度的分光，可用于小型设备的开发。采用一体化封装，结构更加紧凑。该装置体积小，精度高，模块化组装，可用于大规模生产。 |
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