| 基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统 |
| CN202211109128.2 2022-9-13 发明申请 |
| 2022-11-11 |
| 本发明公开了一种基于光纤端面表面等离激元共振的甲烷传感结构及系统。本发明中的甲烷传感结构，是在光纤端面溅射有一层金薄膜层，所述金薄膜层上刻蚀有圆形孔阵列结构，在所述金薄膜层上还旋涂有甲烷气敏膜。超连续激光光源发出的光经过光纤准直器后传输到光纤端面，在介质和金属膜交界面上产生表面等离激元共振；当环境中甲烷气体浓度变化时，甲烷气敏膜的折射率随着甲烷气体浓度的改变而改变，所产生的表面等离激元共振谐振峰因折射率的变化发生移动，通过光纤耦合器用光谱分析仪采集反射回来的光信号，进行光谱分析及计算，实现对环境中甲烷气体浓度的准确测量。本发明拓展了气体传感测量的方式，对光纤制备要求低，对光纤选取的通用性强。 |
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