| 芯片式拉曼光谱仪 |
| CN202110500920.X 2021-5-8 发明申请 |
| 2022-11-8 |
| 本发明提供一种芯片式拉曼光谱仪，包括：包含耦入光栅阵列、干涉仪阵列及耦出光栅阵列的静态干涉仪芯片，图像传感器芯片及一个复合抛物面聚光镜；耦入光栅阵列包括若干个依次一一对应连接的耦入光栅、第一锥形平面波导及第一条形波导；每个第一条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接，且相互平行排列为一排；干涉仪阵列包括若干个弯曲波导、直波导以及设置于直波导两端的反射镜；耦出光栅阵列包括若干个一一对应连接的第二条形波导、第二锥形平面波导及耦出光栅；每个第二条形波导与干涉仪阵列中的弯曲波导一一对应连接，且相互平行排列为一排。本发明的芯片式拉曼光谱仪，有效提高了光谱仪的输入光通量，并且简化了输入信号光线与耦入光栅阵列之间的对准结构。 |
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