| 基于定向耦合方式传输的芯片式拉曼光谱仪 |
| CN202110500924.8 2021-5-8 发明申请 |
| 2022-11-8 |
| 本发明提供一种基于定向耦合方式传输的芯片式拉曼光谱仪，包括：包含耦入光栅阵列、干涉仪阵列及耦出光栅阵列的静态干涉仪芯片，图像传感器芯片及一个复合抛物面聚光镜；耦入光栅阵列包括若干个第一直波导及对应设置于其旁边的若干个耦入光栅单元，且若干个第一直波导相互平行排列为一排，耦入光栅单元通过定向耦合的方式向第一直波导传输光信号；干涉仪阵列包括若干个第二弯曲波导、第二直波导以及设置于第二直波导两端的反射镜；耦出光栅阵列包括若干个第三直波导及若干个耦出光栅单元，于第三直波导中传输的干涉光通过耦出光栅单元耦出静态干涉仪芯片。该光谱仪有效提高了输入光通量，并且简化了输入信号光线与耦入光栅阵列之间的对准结构。 |
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