| 用于补偿扫描显微镜的探针的自然振荡的装置 |
| RU2019110375 2019-4-9 发明授权 |
| 2019-10-21 |
| 领域 : 物理。物质 : 本发明涉及扫描探针技术，特别是涉及使用光学手段监测探针的位置，并可用于隧道，原子功率，电容和其它类型的扫描探针显微镜。 一种用于补偿扫描显微镜的探针的自然振荡的装置，包括 : 固定在控制台的下表面的自由端上的探针的自然振荡的频率信号发生器； 其上表面位于传感器的工作区域的控制台的位置。 X坐标信号和Y坐标信号的同步信号检测器的输入端，X坐标信号和Y坐标信号的信号加法器的输入端与控制台位置传感器的输出端相连。 X坐标信号同步检测器和Y坐标信号同步检测器的控制输入端与针振荡频率频率发生器的输出端相连。 坐标X信号同步检测器的输出通过坐标X信号加法器与输入X个样件运动装置相连， 坐标信号Y的加法器将坐标信号Y的同步检测器的输出连接到输入Y装置进行采样运动。效果 : 当实现所公开的解决方案时观察到的技术结果在于创建装置，该装置允许实时地补偿由探针的固有振荡产生的测量信号的x和y分量，该x和y分量与控制台1Cl，1Dwg的振荡无关。 |
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