| 一种介质光栅集成的红外窄带探测器及光谱型探测芯片 |
| CN202210924012.8 2022-8-2 发明申请 |
| 2022-11-4 |
| 本发明公开了一种介质光栅集成的红外窄带探测器及光谱型探测芯片，该探测器包括：衬底层，用于承载所述红外窄带探测器件；波导层，覆盖于所述衬底层的上表面，用于对入射光进行耦合成为导波以增强探测材料对入射光的吸收；探测材料层，覆盖于所述波导层的上表面，用于对波导层中泄漏的导波进行吸收并转换为电信号；光栅层，放置于所述探测材料层的上表面，用于协助将特定波段入射光耦合入波导层。通过使用本发明，能够实现指定波段入射光的波导耦合，以此提高超薄探测材料对该波段入射光的吸收效率，从而实现窄带探测。本发明作为一种介质光栅集成的红外窄带探测器及光谱型探测芯片，可广泛应用于光电探测器技术领域。 |
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