| 光电探测器及其制作方法、光谱仪 |
| CN202210869156.8 2022-7-22 发明申请 |
| 2022-11-1 |
| 本申请实施例提供了一种光电探测器及其制作方法、光谱仪。在本申请实施例提供的光电探测器中，通过在感测基板入光侧设置超透镜基板，使得超透镜单元将入射的光线聚焦到感测基板中对应感测单元的吸收层，通过吸收层将光线转换为热能，热电转换层将热能转换成电信号，完成入射光线的探测，从而通过超透镜单元能够提升入射至感测单元的光线的强度和能量，通过吸收层捕捉或吸收大部分源自光能的能量并转换能量形态，从而能够提高光电探测器探测入射光线的灵敏度。 |
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