| 使用空间光调制器的薄膜厚度和性能测量系统 |
| KR1020200096114 2020-7-31 发明申请 |
| 2022-2-8 |
| 一种使用根据本发明的空间光调制器测量薄膜的厚度和物理性质的系统，其特征在于包括： 空间光调制器，其中对离开光源的光进行空间调制，以便仅照射样品的特定区域； 第一分束器，其改变由空间光调制器调制的光的方向，并且从样品反射的反射光的一部分通过该第一分束器； 物镜，用于将由第一分束器折射的光聚焦到样品的特定区域上； 第二分束器，从样品反射的反射光的一部分在第一分束器中被分束后入射到第二分束器上，然后第二分束器改变入射光的方向； 第一照相机，用于通过从第二分束器入射的反射光获取样品的表面图像； 光纤，其中安装有光接收单元，以接收通过物镜的后焦平面的特定区域的反射光； 以及光谱仪，用于测量从光纤接收的光的强度，并将该强度作为电信号输出。 |
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