| 扫描探针显微镜及悬臂移动方法 |
| US16284743 2019-2-25 发明申请 |
| 2019-10-17 |
| 当在接近操作期间基于来自光电检测器的检测信号检测到液体表面时，光电检测器移动处理器将光电检测器移动到悬臂的反射光入射到悬臂处于液体中的位置。 在光电检测器移动处理器移动光电检测器之后继续的接近操作期间，当来自悬臂的反射光入射到光电检测器上时，光轴调整处理器调整入射到光电检测器上的反射光的光轴。 在光轴调整处理器调整光轴之后继续的接近操作期间，当基于来自光检测器的检测信号检测到固体样品的表面时，接近处理器停止接近操作。 |
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