| 一种基于MEMS的光谱成像系统及方法 |
| CN202111605696.7 2021-12-25 发明申请 |
| 2022-5-13 |
| 本发明公开了一种基于MEMS的光谱成像系统及方法，属于光谱成像领域，主要涉及微机电系统技术、光学系统设计技术和高光谱成像技术等。本发明通过在准直子系统和探测器之间引入一个MEMS扫描光栅镜阵列，使得经过DMD每个微镜扫描单元反射、又经准直子系统处理后的光线，可以在每个MEMS扫描光栅镜单元上被分光并获得对应的色散光谱，同时通过控制MEMS扫描光栅镜阵列中每个单元的偏转角度，实现DMD中每个微镜扫描单元对应的色散光谱在相同位置入射至探测器工作面上。因此，经DMD微镜按列扫描后产生的色散光谱不再沿着一个方向偏移，而是分布在探测器工作面上的相同位置，从而大幅度减少色散光谱总长度，降低系统对大长宽比探测器工作面的需求。 |
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