| 中红外波段宽光谱测量系统 |
| CN202110451485.6 2021-4-26 发明申请 |
| 2022-10-28 |
| 本发明公开了一种中红外波段宽光谱测量系统，包括：均设置于真空腔体中的显微物镜和光纤耦合器，均设置于大气环境中的准直器、分光棱镜、汇聚透镜和探测器，以及连接于所述光纤耦合器和所述准直器之间的中红外光纤，准直器用于将平行光传导至所述分光棱镜；分光棱镜用于色散平行光并将经色散而形成的分光光束出射至汇聚透镜；汇聚透镜用于将不同波长的分光光束汇聚于所述探测器的焦平面的不同高度上。光纤可以通过真空法兰穿过真空腔体，将光信号引出到真空腔体内部，从而准确获得真空腔体中物体的表面信息。 |
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