| 一种小型光栅光谱仪 |
| CN202221872216.3 2022-7-15 实用新型 |
| 2022-10-28 |
| 本实用新型公开一种小型光栅光谱仪，其沿光路方向依序包括环形器、1*N光开关、准直器、MEMS、扩束望远镜、光栅和高反射镜，所述光栅和高反射镜相对设置形成Littman结构，光栅和高反射镜之间设有四分之一波片；光信号经过扩束望远镜扩束后掠入射到光栅面上。本实用新型通过光开关和MEMS改变光束方向，实现掠入射到光栅面入射角的改变。采用掠入射反射光栅，光栅尺寸可以不变或增大一半长度，即可满足分辨率提升5倍以上的需求，减少了光路所占的空间，从而减少小型光谱仪总的尺寸。 |
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