| 一种用于在线检测的光纤阵列LIBS探测系统 |
| CN202011588099.3 2020-12-28 发明申请 |
| 2021-4-30 |
| 本发明公开了一种用于在线检测的光纤阵列LIBS探测系统，包括激光光纤耦合模块、激光控制模块以及光谱采集模块；其中，激光光纤耦合模块包括纳秒激光器，二向色镜，平凸透镜一以及传输光纤；激光控制模块包括分光镜一，分光镜二，光电二极管，激光能量计以及可编程脉冲延迟发生器；光谱采集模块包括平凸透镜二，收集光纤，光谱仪以及ICCD；从纳秒激光器发出的激光光束最终通过传输光纤进入到光纤阵列LIBS探头中。光纤阵列模块安装于待测设备的正上方，其上的16根光纤套筒可以实现对整个设备表面的二维阵列同步检测。本发明可以实现对特殊设备运行状态的现场实时在线检测。 |
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