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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

光学位移感测系统

US16600158 2019-10-11 发明申请

2020-4-16

本发明提供一种光学位移感测系统。通过在位移平台上配置光学传感器，配合宽带光源和光谱分析仪，当位移平台移动时，光学传感器的波导光栅发生共振，形成具有共振波长的反射光。波导光栅具有多个光栅周期，当位移平台移动到不同位置以使宽带光源对应不同的光栅周期时，该位置可对应不同的谐振波长。因此，根据上述结构，不使用光学编码器，而是根据不同的谐振波长来确定位置；实现微米级或纳米级位移检测。