产业专利数据
 
光谱仪
 
JP2019147214  2019-8-9  发明授权
2022-10-20
 
  为了在光谱测量装置中进行大面积和高速测量，解决方案：显微镜装置设置有传感器，该传感器测量当样品被外部输入能量照射时产生的二维平面中的样品位移，并且处理单元基于由传感器测量的测量数据计算外部输入能量的吸收率。选择附图：图1
 
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