| 具有深度学习算法以处理两个干涉图的干涉系统 |
| WOUS22025005 2022-4-15 发明申请 |
| 2022-10-20 |
| 描述了用于测量物体的表面粗糙度和表面形状的方法，装置和系统。 示例性干涉系统包括准直器和具有不同光谱范围和不同相干长度的第一和第二光源。 该系统选择性地允许来自光源之一的光到达准直器，并且还包括分束器和Mirau型显微镜，该Mirau型显微镜具有物镜，具有中心反射斑点的板和分束器板以产生参考光束和测试光束。 成像透镜接收形成多个干涉图的测试光束和参考光束。 神经网络接收两个用于测量表面形状的干涉图和另外两个用于测量物体表面粗糙度的干涉图。 所述干涉系统具有紧凑的形式，使得它们适合于机上测量和其它应用。 |
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