| 基于反射镜实现变角度激发的显微角分辨光谱测量系统 |
| CN202210786768.0 2022-7-4 发明申请 |
| 2022-10-14 |
| 本发明公开的一种基于反射镜实现变角度激发的显微角分辨光谱测量系统，属于显微角分辨光谱测量领域。本发明通过改变反射镜入射角度，使入射光束在物镜后焦面不同位置聚焦，实现对样品变角度激发，样品发出的不同角度光信号经由物镜和两个平凸透镜通过傅里叶变换，实现实空间到k空间转化，将物镜后焦面的k空间的像搬移到光谱仪狭缝处，对不同角度光信号的一次性采集，显著缩短光谱的采集时间，进而提高显微角分辨光谱测量效率。本发明通过增加微区成像模块实现对微米级别样品的区域照明和定位，通过半透半反镜在实时观测样品的同时实现对微区样品预定位置光的激发，且不需要对光路中的任何光学元件进行切换，以便实时收集微区样品的角分辨光谱。 |
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