具有高效光耦合的光谱仪
 
US17713770  2022-4-5  发明申请

2022-10-13
 
  一个实施例提供了一种光谱仪。 该光谱仪可以包括:透镜和滤光器系统,其被配置为收集从样品散射的光; 光斑转换器,被配置为将从透镜-滤光器系统输出的基本圆形的光束转换为基本矩形的光束;以及狭缝,包括矩形孔径,以允许基本矩形的光束的预定部分进入矩形孔径,同时阻挡噪声。 狭缝还可以包括至少一个基于微机电系统(MEMS)的可移动结构,该可移动结构被配置为调节矩形孔径的宽度。
 
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