| 一种光谱低功率可调的刻蚀衍射光栅 |
| CN202211068415.3 2022-9-2 发明申请 |
| 2022-10-11 |
| 本发明公开了一种光谱低功率可调的刻蚀衍射光栅，所述刻蚀衍射光栅包括输入信道波导、输出信道波导、平板波导、过渡波导、反射光栅面及设计的马赫?曾德尔干涉仪，所述输入信道波导与平板波导间通过设计的马赫?曾德尔干涉仪连接，所述输出信道波导与平板波导间通过过渡波导连接，入射光由入射信道波导进入马赫?曾德尔干涉仪，经马赫?曾德尔干涉仪调节在输出端叠加输出，进入平板波导，入射角度发生偏转，从而实现通道光谱位置的调节。本发明基于平面光波导技术及标准CMOS工艺，仅需较低外加电压对局部区域加热，即可实现刻蚀衍射光栅整体光谱的调节，简单易行，无特殊工艺，可适用于大面积、多通道的刻蚀衍射光栅。 |
微信公众号