| 极紫外光光谱椭偏仪 |
| TW110117000 2021-5-11 发明申请 |
| 2022-3-1 |
| 本揭示内容提供一种极紫外光光谱椭偏仪其包含光源接收元件、第一极化调变元件、第二极化调变元件、能量分离元件以及光感测与分析装置。光源接收元件用以接收目标光源。第一极化调变元件可旋转地连接于光源接收元件并产生一第一极化光。第二极化调变元件可旋转地连接于第一极化调变元件借以产生一第二极化光。能量分离元件用以接收第二极化光以产生一极化调变与能量解析光。光感测与分析装置用以接收极化调变与能量解析光并提供光谱及偏振资讯其中光谱及偏振资讯包含至少一能量资讯。借此有助于量测目标光源光谱偏振资讯。; ...---- |
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