| X射线分光计及使用该X射线分光计的化学状态分析方法 |
| US16651115 2018-7-25 发明申请 |
| 2020-7-16 |
| 一种X射线光谱仪，包括：激发源，其用产生特征X射线的激发射线照射样品表面上的预定照射区域； 面对照射区域的平板分析晶体； 设置在照射区域和分析晶体之间的狭缝，该狭缝平行于分析晶体的预定晶面； 线性传感器，包括沿平行于狭缝的方向具有长度的线性检测元件，该线性传感器沿垂直于狭缝的方向布置； 以及能量校准单元，其通过用来自激发源的激发射线照射产生两个特征X射线的标准样品的表面来测量其中能量是已知的两个特征X射线， 以及基于两个特征X射线的测量能量校准由X射线线性传感器的每个检测元件检测的特征X射线的能量。 |
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