| 一种线扫描分光白光干涉仪 |
| CN202110534115.9 2021-5-17 发明申请 |
| 2021-8-3 |
| 本发明公开了一种线扫描分光白光干涉仪，光源部分包括SLD光源，SLD光源出光端与准直器连接；准直器出光端发出的光束通过第一柱透镜后进入分光棱镜，并分两路分别进入参考臂和样品臂；参考臂和样品臂返回的反射光通过分光棱镜后进入第二远心镜头，之后进入光谱仪；参考臂依次设有第二柱透镜、消色差透镜、反光镜；样品臂中设有第一远心镜头、测量样品和一维平移台；本发明优点在于，采用SLD光源相干长度短、功率高；柱面镜产生线阵光束，可完成线扫检测，提升检测精度；消色差镜和远心镜头可以是两个不同焦距的镜头，不需要参考臂和样品臂满足等光程条件；远心镜头可以避免死角，具备高定为精度、高能量均匀性优点。 |
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