| 三维点光谱共焦传感方法与系统 |
| CN202210624626.4 2022-6-2 发明申请 |
| 2022-10-4 |
| 本发明公开了一种三维点光谱共焦传感方法与系统，装置由白光LED光源、色散镜头组件、信号探测装置和光谱解调装置组成，各部分通过光纤耦合器进行连接。本发明通过衍射透镜配合非球面透镜组成色散镜头，配合宽谱段白光LED光源可生成大范围的轴向色散，同时简化色散镜头结构；横向和轴向探测分别由信号探测装置和光谱解调装置完成，避免由于解调光路像差导致的横向分辨率降低；光谱解调装置采用线性渐变滤光片将不同波长展开，可直接成像在探测器上，减小了系统的体积，降低了装调的难度；测量数据通过算法处理对样品表面进行重构。本发明可通过对样品的二维扫描获得高精度三维形貌信息，系统结构紧凑，且探测器采用光电倍增管和线阵相机，具有高测量速度。 |
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