| 一种基于MEMS技术的光声光谱绝缘油溶解气体探测系统 |
| CN202221108450.9 2022-5-10 实用新型 |
| 2022-10-4 |
| 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的光声光谱绝缘油溶解气体探测系统，所述进气管道端部远离循环气泵的一端与分析气室的顶部相连，所述分析气室设置于气体检测箱内，且分析气室一侧设置有脉冲红外光源，分析气室另一侧设置有光声气室，本实用新型通过光声气室和分析气室来组成双级吸收增强结构，使得系统不仅具有很高灵敏度，同时可靠性和稳定性良好，且使系统可以实现普通光声光谱望而却步的流动气体测量，且通过分析气室之后的红外能量大部分在光声气室中被吸收，使得设备对被分析气体具有很高的灵敏度，而油气分离后产生的气体不接触检测元件，使得设备具有很高的可靠性和很好的稳定性。 |
微信公众号