| 保护装置及扫描电镜 |
| CN201910635816.4 2019-7-15 发明申请 |
| 2019-10-11 |
| 本发明涉及一种保护装置及扫描电镜，该保护装置用于防止扫描电镜的样品台与所述扫描电镜的电子枪的枪头碰撞，包括：支撑架；以及检测组件，设置在所述支撑架上，用于与电源电性连接，以形成检测回路；所述检测组件至少一部分位于所述枪头和所述样品台之间，使得所述样品台在第一方向上运动时，能够先与所述检测组件碰触，进而使所述检测回路在所述检测组件处断路，以便控制所述样品台停止在所述第一方向上运动，从而避免样品台与枪头碰撞。 |
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