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一种新型太赫兹光谱分析仪
US17210675 2021-3-24 发明申请
2022-3-3
本发明涉及一种新型太赫兹光谱分析仪, 采用基于NMOSFET栅光栅化结构的探测器, 一种基于肖特基接触光栅化结构的探测器, 基于HMet栅光栅化结构的探测器,以及基于“波热转换结构”的探测器,基于多频太赫兹天线结构的NMOSFET探测器,以及基于多频太赫兹天线结构的SBD探测器作为核心部件(即: 本申请提出的太赫兹光谱分析仪具有体积小,成本低,功耗低的优点。
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