| 一种宽光谱椭偏测量设备 |
| CN202210627942.7 2022-6-6 发明申请 |
| 2022-9-23 |
| 本发明提供了一种宽光谱椭偏测量设备，包括工件台、发射宽波段光束的宽光谱光源、入射光调整组件、光束汇聚模块、对准系统、控制系统和探测器；入射光调节组件将宽波段光束分解为至少两束不同波长光束，并调整不同波长光束的传输方向；光束汇聚模块用于汇聚不同波长的光束以在样品表面形成不同量测光斑；对准系统用以获取量测光斑在样品表面的分布信息；控制系统基于分布信息调整工件台、光束汇聚模块、入射光调节组件中的至少一种；探测器收集不同波长的光束经待测样品后的反射和/或散射光束，以获取测量信息。通过本申请，缩小了量测光斑的尺寸，提高了对样品表面形貌参数量测数据的准确性及重复性。 |
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