| 反射相位显微镜 |
| US16173533 2018-10-29 发明申请 |
| 2019-10-10 |
| 公开了一种反射相位显微镜。 该反射相位显微镜包括 : 光源单元，照射光； 偏振分束器，将从光源单元照射的光分成样品光束和参考光束； 样品单元，将样品光束反射向偏振分束器； 将参考光束反射向偏振分束器的参考镜； 扫描镜，其调节来自光源单元的光在偏振分束器上的入射角，使得样品光束在样品单元上的入射角和参考光束在参考镜上的入射角被调节； 衍射光栅，衍射由样品单元反射的样品光束和由参考镜反射的参考光束； 以及图像获取单元，接收由衍射光栅衍射的光束。 |
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