| 组合的OCD和光反射调制方法和系统 |
| KR1020227022391 2020-12-24 发明申请 |
| 2022-8-30 |
| 组合的OCD和光反射调制系统和方法，用于在测量目标样品的光学特性时改善OCD性能。 该系统包括：(a)单通道OCD设置，其包括在垂直/倾斜方向上配置的单个探测光束，以测量目标样品的光学特性， 或者多通道OCD设置，其具有多个探针束，所述探针束沿垂直于目标样品的方向和倾斜于目标样品的方向配置， (b)至少一个用于产生至少一个激光束的激光源， (c)至少一个调制装置，用于将至少一个激光束转换成至少一个交替调制的激光束， 和(d)至少一个光谱仪，用于测量从目标样品反射的至少一个光束的光谱分量，其中以至少一种交替方式调制的激光束调制目标样品的光谱反射率。 |
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