| 电子显微镜 |
| WOJP18014102 2018-4-2 发明申请 |
| 2019-10-10 |
| 电子枪(1)投射电子束，具有闪烁器的照相机检测由于电子束的照射而从样品产生的信号，并获取透射图像。 电流读取终端测量到闪烁器的信号的电流值， 电子束密度计算单元(483)基于所测量的电流值和闪烁体的面积来计算电子束密度，并且输出控制单元(485)使用与所计算的电子束密度相关的信息来执行输出控制。 以这种方式， 电子显微镜测量到照相机闪烁体的信号的电流值，并根据电流值和闪烁体的面积计算电子束密度， 因此，可以计算能够识别电子束对样品的影响的信息。 |
微信公众号