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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

电镜装置，使用电镜装置的检查系统以及使用电镜装置的检查方法

WOJP19015148 2019-4-5 发明申请

2019-10-10

一种电子显微镜装置，具有 : 检测部，其检测从被从一次电子产生部(电子枪)发射的一次电子照射的样品反射的反射电子；图像生成部，其基于来自检测部的输出，生成基于反射电子的样品表面的图像；以及处理部分，其为由图像生成部分生成的图像生成差分波形信号，并使用关于差分波形信号的信息来处理图像和测量在样本上形成的图案的尺寸。