| 扫描电镜系统及图案深度测量方法 |
| WOJP19015151 2019-4-5 发明申请 |
| 2019-10-10 |
| 1，一种扫描电子显微镜系统，包括 : 主电子束辐射装置，其在衬底上以第一图案辐射主电子束，所述衬底具有在所述第一图案的外围区域形成的第二图案； 检测装置，用于检测由主电子束辐射装置用主电子束辐射的衬底发射的反向散射电子； 图像生成装置，生成与由检测装置检测到的反向散射电子的强度相对应的电子束图像； 指定装置，用于在由图像生成装置生成的电子束图像内指定其中存在第一图案的深度测量区域； 以及处理装置，用于获得深度测量区域的图像信号和存在第二图案的外围区域的图案密度， 以及基于所获得的深度测量区域的图像信号和外围区域的图案密度来估计深度测量区域内的第一图案的深度。 |
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