| 激光泵浦宽带等离子体光源 |
| RU2021129398 2021-10-8 发明授权 |
| 2022-9-20 |
| 领域:照明。 发明内容:发明涉及基于连续光学放电的宽带明亮光源。 具有由连续激光器(4)的聚焦光束(3)支撑在充气室(1)中的发射等离子体(2)区域的光源。 所述气体为纯度至少为99.99%的惰性气体。 所述室包括金属主体(5),所述金属主体具有用于所述连续激光束的输入的窗口(6a)和用于所述等离子体发射束(8)的输出的由MgF2制成的至少一个窗口(6b)。 每个窗口在位于主体孔中的套筒(7a,7b)的离发射等离子体区域最近的端部处位于室的内侧上。 每个窗口通过玻璃胶(13)与套筒焊接在一起,并且每个具有焊接到其上的窗口的套筒利用外接缝(14)焊接到金属主体的孔中。 套筒和腔体由合金制成,该合金在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上具有与晶体氟化镁的LTE系数相匹配的线性热膨胀系数(LTE)。 效果:在VUV范围内扩展激光泵浦等离子体光源的发射光谱,同时确保其高亮度和稳定性。 21 cl, 5 dwg |