| 一种基于线性滤光器分光的用于三维面型测量的光谱共焦系统 |
| CN202210530446.X 2022-5-16 发明申请 |
| 2022-9-16 |
| 本发明公开一种基于线性滤光器分光的用于三维面型测量的光谱共焦系统，包括：宽光谱光源，用于提供有一定波长范围的光辐射；线性滤光片，用于将光辐射源发射的光利用波长选择透过特性分成分离的波长；第一消像差镜组，用于使不同波长的光经过偏折成像在被测物体表面深度方向的不同高度上；光辐射处理单元，在镜面反射方向上接受从被测量物体表面反射的光辐射，并引导至所述检测器；探测器，用于接收从所测量的物体反射的辐射。本发明使用线性滤光器实现色散，在保证色散分辨率和测量精度的同时，使得面型深度和波长成完全的线性关系，在面形测量时可以测量更大的深度范围。 |
微信公众号