| 光谱仪 |
| JP2021033537 2021-3-3 发明申请 |
| 2022-9-15 |
| 本发明提供一种光谱测定装置，其能够提高对由红外线等激励的试样的膨胀等物性值的变动的检测的灵敏度。 该光谱测定装置的特征在于，具有：载置试样的载物台； 产生发射到样品的指定区域上的能量束的能量源， 电磁波源，产生发射到样品上的电磁波； 将电磁波集中在规定区域内的物镜； 两个共焦检测器，用于检测由样品反射的电磁波；以及计算单元，用于使用共焦检测器的输出来计算当能量束发射到指定区域上时样品的物理性质的值的变化。 |
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