| 一种振镜扫描光谱共焦测量仪 |
| CN202221623652.7 2022-6-27 实用新型 |
| 2022-9-13 |
| 本实用新型公开了一一种振镜扫描光谱共焦测量仪，包括，光谱仪、光源发散模块以及XY扫描模块；所述光源发散模块用于将光源发散并准直成平行光；所述XY扫描模块包括由上而下依次分布的扫描振镜与第一镜头；所述扫描振镜将入射的平行光扫描聚焦到样品表面，形成扫描光；所述第一镜头将扫描光于Z方向分光聚焦，分光聚焦后的扫描光于样品表面处反射并原光路返回；所述扫描振镜接收返回的光线，并将光线于XY平面内扫描，得到样品XY方向的信息；所述光谱仪接收返回的光线，得到样品Z方向的信息；本实用新型，采用扫描振镜扫描实现样品于XY方向的信息收集；光谱仪接收返回的光线，得到样品Z方向的信息；扫描振镜与光谱仪配合，获取样品三维轮廓信息。 |
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