| 平面波导结构及含有该结构的光路延迟器及热扫描标准具及富里叶变换红外光谱仪 |
| CN202221082052.4 2022-5-5 实用新型 |
| 2022-9-13 |
| 本实用新型涉及平面波导结构及含有该结构的光路延迟器及热扫描标准具及富里叶变换红外光谱仪，平面波导结构包括光学基片和波导层，所述波导层包括在光学基片上依次层叠镀设第一波导膜层、第二波导膜层以及第三波导膜层，所述第二波导膜层的折射率分别大于第一波导膜层和第三波导膜层；第一波导膜层、第二波导膜层和第三波导膜层均由a?Si、a?SiH、a?SiGeH和a?GeH中的任意一种波导材料成型，采用以上技术方案瞬间毫秒量级脉冲加热，使波导层中的光程快速变化。 |
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